桌面型小型離子濺射儀
簡要描述:桌面型小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設計,操作簡單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實驗電極的制作。該設備為桌面型,面積較小。
- 產(chǎn)品型號:JS-1600
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 更新時間:2024-03-21
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詳情介紹
JS-1600桌面型小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設計,操作簡單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實驗電極的制作。
用戶可以根據(jù)自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設計,滿足大樣品的濺射需求。標配一片金靶,純度為99.999%,為獲得高質(zhì)量的金膜提供了好的基礎。
JS-1600桌面型小型離子濺射儀主要技術(shù)指標如下:
1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%;
2.真空室:直徑:160mm,高:120mm;
3.樣品臺(下部電極):濺射面積:直徑:50mm;
4.工作真空: 8×10-2—2×10-1 mbar;
5.離子電流表:50mA;
6.數(shù)顯計時器:根據(jù)濺射習慣設定單次濺射時間;
7.電壓:-1600DVC;
8.機械泵:2升/每秒;
9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,;
10.微型真空氣閥: 配有氬氣專用進氣口和微量充氣調(diào)節(jié),可連接φ3mm軟管;
11.外型尺寸:360mm×300mm×380mm;
備注:JS-600小型離子濺射儀可適用的靶材:金、鉑、銀。
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