詳情介紹
一、產品應用:
JS-600M小型磁控濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設計,帶磁控靶頭,有水冷功能。設備操作簡單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實驗電極的制作。
磁控濺射為冷濺射,對樣品表面的升溫較低,適用對溫度較敏感的薄膜樣品。用戶可以根據自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設計,滿足大樣品的濺射需求。標配一片金靶,純度為99.999%,為獲得高質量的金膜提供了良好的基礎。
二、1600V二極磁控濺射儀配置及技術指標:
1.本系統(tǒng)裝配了水冷卻磁控靶,靶面直徑為50mm;
2.主機規(guī)格:L360mm*W300mm*H380mm;
3.靶(上部電極):金:直徑:50mm,厚度:0.1mm;
4.真空樣品室:直徑:160mm,高:110mm;
5.濺射面積:Ф50mm;
6.工作真空:2×10-1—6×10-2 mbar;
7.離子電流表:0-100mA;
8.定時器:根據濺射習慣設定單次濺射時間;
9.針閥:配有進氣口,微量充氣調節(jié),可連接φ4*2.5mm軟管;
10.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣等多種氣體;
11.濺射電壓:-1600 DCV;
12.飛躍真空泵(VRD-4):1.1L/S。
三、1600V二極磁控濺射儀產品特點:
1.輕便、濺射面積大;
2.可以濺射鉑、金及銀等金屬;
3.濺射效率高,可水冷降溫;
備注:JS-600M小型磁控濺射儀可適用的靶材:金、鉑、銀。
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